Научная лаборатория высокоинтенсивной имплантации ионов
  • Комплексная установка для ионной и плазменной обработки материалов.
  • Импульсно-периодический источник сильноточных пучков ионов металлов и плазмы на основе непрерывной вакуумной дуги «РАДУГА 5».
  • Модернизированная установка ННВ6.6-И1 для лабораторных исследований.
  • Аксиально-симметричный вакуумно-дуговой генератор плазмы с электромагнитным плазменным фильтром жалюзийного типа.
  • Плазменно-иммерсионный времяпролетный спектрометр для измерения зарядовых состояний и массового состава газовой и металлической плазмы.
  • Сильноточный ускоритель электронов «Тонус».
  • Комплексная система реализации гибридных технологий ионно-плазменной обработки крупногабаритных изделий.
  • Оже-электронный спектрометр «Шхуна-2».
  • Атомно-эмисионный спектрометр «ДФС-458C».
  • Трехмерный бесконтактный профилометр Micro Measure 3D Station.
  • Прибор для измерения толщины пленок и покрытий Calotest CAT-S-0000.
  • Высокотемпературный трибометр THT-S-AX-0000.
  • Прибор для измерения адгезионной прочности покрытий Micro-Scratch Tester MST-S-AX-0000.
  • Нанотвердомер Nano-Hardness Tester NHT-S-AX-000X.
  • Отрезной станок BRILLANT 201.
  • Шлифовально-полировальная машина SAPHIR 320.